近期，我司聯(lián)合上海光機所精密光學制造與檢測中心通過持續(xù)的技術攻關，在“低污染離子束拋光裝備研制及工藝”上取得重要突破。低污染離子束拋光裝備具有加工污染低、去除函數(shù)精度高、收斂效率快、可以針對特定光學指標進行修復的特點，可有效提升強激光元件的修形效率、修形精度及表面質(zhì)量。  

       離子束拋光裝備是強激光、空間探測、納米光刻等高新技術領域的核心關鍵裝備。目前離子束拋光裝備普遍存在修形過程的污染問題，會極大的影響被加工元件的損傷閾值，限制了元件的使用范圍；而且現(xiàn)有離子束裝備修形方式單一，無法對不同的指標需求實現(xiàn)針對性的去除，效率低。  

       在團隊科研人員的努力下：通過真空獲取方式的流場模式分析與控制、低污染離子源結(jié)構(gòu)設計優(yōu)化以及引進束流預清洗等技術，可以有效實現(xiàn)離子束拋光裝備的低污染加工；基于對離子束加工熱效應影響去除非線性的特征，提出了變去除函數(shù)模式對非線性過程進行補償，實現(xiàn)了高精度去除函數(shù)pm精度計算算法；結(jié)合實際工藝需求，開發(fā)了針對低頻PV、梯度GRMS和中頻PSD-1等不同參數(shù)的定制化加工算法，可使目標指標快速收斂，極大地提高了加工效率。

       利用自研樣機對樣件的加工全方位驗證了上述系列關鍵技術。低污染離子束拋光樣機核心器件國產(chǎn)化率達100%，該設備的研制成功和工藝技術的進展可以進一步打破我國在該類加工設備領域面臨的進口受限的局面。