11月4日恒邁光學(xué)精密機(jī)械（杭州）有限公司在杭州組織召開(kāi)了1米大口徑應(yīng)力檢測(cè)儀的出廠驗(yàn)收評(píng)審，有來(lái)自北京人工晶體總院有限公司、中物院8所、菲利華石英玻璃有限公司、中國(guó)建筑材料科學(xué)研究總院、神光石英有限公司、上海光機(jī)所等單位的多名專家參加了驗(yàn)收評(píng)審。大家一致認(rèn)為該臺(tái)應(yīng)力儀指標(biāo)全部滿足合同指標(biāo)要求，可以達(dá)到國(guó)外同等水平。
應(yīng)力儀主機(jī)
應(yīng)力儀測(cè)量結(jié)果
應(yīng)力儀測(cè)試界面
該應(yīng)力儀主機(jī)是基于偏振光測(cè)量原理進(jìn)行設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)的，設(shè)備自主可控率可以達(dá)100%。設(shè)備測(cè)試精度優(yōu)于0.1nm/cm、單口徑測(cè)量時(shí)間小于2s、可自動(dòng)以文件形式存儲(chǔ)測(cè)量結(jié)果并將測(cè)量結(jié)果以二維圖像顯示。實(shí)際元件的測(cè)量口徑可以通過(guò)數(shù)字化拼接進(jìn)行擴(kuò)大，最大可以滿足2米及以上元件的測(cè)量需求。該設(shè)備的研制成功可以進(jìn)一步打破我國(guó)在該類儀器領(lǐng)域面臨的進(jìn)口受限的局面。
公司介紹
恒邁光學(xué)精密機(jī)械（杭州）有限公司成立于2020年01月，注冊(cè)資金壹仟壹佰貳拾萬(wàn)元，坐落于富春江畔的浙江省杭州市富陽(yáng)區(qū)，是杭州光學(xué)精密機(jī)械研究所重點(diǎn)孵化的高科技創(chuàng)新型企業(yè)，公司核心創(chuàng)始人和技術(shù)團(tuán)隊(duì)由多名具有國(guó)外留學(xué)經(jīng)歷博士、博士后以及具有光學(xué)和半導(dǎo)體領(lǐng)域資深背景的專業(yè)人士組成。研發(fā)人員碩士以上學(xué)歷比例達(dá)到80%，公司有近2000平方米的百級(jí)、千級(jí)潔凈等級(jí)的關(guān)鍵技術(shù)實(shí)驗(yàn)室與總成車間。檢測(cè)設(shè)備齊全，具有較強(qiáng)的硬件支撐能力，公司專注于超精密光學(xué)加工裝備、半導(dǎo)體CMP拋光裝備以及精密檢測(cè)儀器的設(shè)計(jì)研制與開(kāi)發(fā)，公司擁有多項(xiàng)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高動(dòng)態(tài)、高剛度和高效能的機(jī)床設(shè)計(jì)技術(shù)、加工過(guò)程“實(shí)時(shí)原位”檢測(cè)技術(shù)和基于“穩(wěn)、準(zhǔn)、精”的先進(jìn)光學(xué)測(cè)量技術(shù)，加工設(shè)備與檢測(cè)儀器雙引擎驅(qū)動(dòng)、雙劍合璧。
產(chǎn)品中心
光學(xué)精密加工裝備（智能環(huán)型拋光機(jī)、機(jī)器人拋光機(jī)、離子束拋光機(jī)）
半導(dǎo)體加工裝備（晶圓CMP、掩模基板拋光機(jī)等）
精密檢測(cè)儀器（波長(zhǎng)移相激光干涉儀、數(shù)字應(yīng)力儀等）
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